تُستخدم الطباعة الحجرية الضوئية بشكل شائعلإنتاج رقائق الكمبيوتر. عند إنتاج رقائق الكمبيوتر ، تكون مادة الركيزة عبارة عن رقاقة مغطاة مقاومة من السيليكون. تسمح هذه العملية ببناء مئات الرقائق في وقت واحد على رقاقة سيليكون واحدة.
كيف تتم الطباعة الليثوغرافية؟
الليثوغرافيا الضوئية تستخدم ثلاث خطوات عملية أساسية لنقل نمط من قناع إلى رقاقة:معطف ، تطوير ، كشف. يتم نقل النموذج إلى الطبقة السطحية للرقاقة أثناء عملية لاحقة. في بعض الحالات ، يمكن أيضًا استخدام نمط المقاومة لتحديد النمط الخاص بغشاء رقيق.
لماذا تسمى الطباعة الحجرية الضوئية؟
الطباعة الحجرية بأشباه الموصلات (الطباعة الحجرية الضوئية) - العملية الأساسية .يتطلب تصنيع الدائرة المتكاملة (IC) مجموعة متنوعة من العمليات الفيزيائية والكيميائية التي يتم إجراؤها على ركيزة أشباه الموصلات (مثل السيليكون). … تأتي كلمة الطباعة الحجرية من اليونانية lithos ، وتعني الأحجار ، والرسومات البيانية ، وتعني الكتابة.
لماذا تعتبر الطباعة الحجرية مهمة؟
الطباعة الحجرية هيعملية نقل أنماط الأشكال الهندسية في قناع إلى طبقة رقيقة من مادة حساسة للإشعاع(تسمى مقاومة) تغطي سطح رقاقة أشباه الموصلات. يوضح الشكل 5.1 بشكل تخطيطي عملية الطباعة الحجرية المستخدمة في تصنيع IC.
ما هي الطريقة الأكثر استخدامًا في طرق الطباعة الحجرية؟
بصريالطباعة الحجريةهي تقنية تعتمد على الفوتون وتتألف من عرض صورة في مستحلب حساس للضوء (مقاوم للضوء) مغطى على ركيزة مثل رقاقة السيليكون. إنها أكثر عمليات الطباعة الحجرية استخدامًا في التصنيع عالي الحجم للإلكترونيات النانوية بواسطة صناعة أشباه الموصلات.
