الليثوغرافيا الضوئية تستخدم ثلاث خطوات عملية أساسيةلنقل نمط من قناع إلى رقاقة: معطف ، تطوير ، كشف. يتم نقل النموذج إلى الطبقة السطحية للرقاقة أثناء عملية لاحقة. في بعض الحالات ، يمكن أيضًا استخدام نمط المقاومة لتحديد النمط الخاص بغشاء رقيق.
ما هي الطباعة الحجرية الضوئية كيف تعمل؟
الطباعة الحجرية الضوئية هي عملية نقشيتم فيها تعريض بوليمر حساس للضوء بشكل انتقائي للضوء من خلال قناع، تاركًا صورة كامنة في البوليمر يمكن بعد ذلك إذابتها بشكل انتقائي لتوفير نقش الوصول إلى الركيزة الأساسية.
لماذا تستخدم الطباعة الحجرية الضوئية؟
الليثوغرافيا الضوئية هي واحدة من أهم وأسهل طرق التصنيع الدقيق ، وهيتستخدم لإنشاء أنماط مفصلة في مادة. في هذه الطريقة ، يمكن حفر شكل أو نمط من خلال التعرض الانتقائي للبوليمر الحساس للضوء للأشعة فوق البنفسجية.
لماذا يستخدم ضوء الأشعة فوق البنفسجية في الطباعة الحجرية الضوئية؟
Photolithographyيسمح بتغليف ثلاثي الأبعاد للخلايا داخل الهلاميات المائية عن طريق ربط البوليمر المسبق المحتوي على الخلية تحت ضوء الأشعة فوق البنفسجية. يتم استخدام قناع ضوئي للحصول على النمط المطلوب [88].
ما هي متطلبات التصوير الليثوغرافي؟
بشكل عام ، تتطلب عملية الطباعة الحجرية الضوئيةثلاث مواد أساسية ، ومصدر ضوء ، وقناع للصور ، ومقاوم للضوء. مقاوم للضوء ، مادة حساسة للضوء ،له نوعان ، موجب وسلبي. يصبح مقاوم الضوء الموجب أكثر قابلية للذوبان بعد التعرض لمصدر الضوء.
Photolithography: Step by step
